洁净厂房排气系统安全技术措施
发布者：翼展净化工程公司浏览次数：发布时间：2024-02-19
在电子工业洁净厂房中各种类型的排气系统都会涉及安全技术措施。其中集成电路、液晶显示器面板制造的洁净厂房不仅排气系统和类生，且排气量大，有的工艺设备排气口的废气排出浓度还较高等，为了确保电子工业废气处理系统的安全可靠运行，在国家标准《电子工业废气处理工程设计标准》（GB 51401—2019） 中作出有关废气处理系统的安全技术措施规定，汇总一部分供涉及相关工程的设计、建造者实施执行：
排风中含有燃烧爆炸性、毒性物质时，排风系统设计应满足下列要求：
a.燃烧爆炸性、毒性物质未经处理的排风管路，应保持相对于路由区域的负压值
b.中央废气处理系统应按一级负荷供电，一级负荷供电的电量应保证系统排风量不小于正常运行时系统排风量的 50%；
c.排风中含有燃烧爆炸性物质时，排风机应设置备用；
d排风中含有极毒或剧毒物质时，排风机和处理设备均应设置备用。
依据生产工艺要求，产品生产过程必须使用极毒、剧毒物质时，应采用自动化设备并应采取密闭、隔离和负压作业等措施；生产工艺设备中产生有毒有害物质的腔体应采取排风措施，并应满足生产工艺要求的负压值。挥发性有机物皮气排风系统应配置备用风机，且排风机应按一级负荷供电，使用一级负荷供电的风机风量应大于系统排风量的 50%。经处理后的工艺设备排出的挥发性有机物皮气不应循环使用。当采用转轮浓缩处理挥发性有机物废气时，派缩后的挥发性有机物废气浓度不应大于燃烧下限的 50%
在美国消防标准 NFPA 318 中对半导体产品制造洁净厂房排气管路的消防安全措施作了相关规定，如设在洁净厂房内的用于排放含有可燃、易燃物质的排风管道的直径或等效直径大于或等于250mm 时，排风管内应设喷头，其自动喷水灭火系统的设计喷水强度不得小于 1.9L/(min • ㎡),风管内自动喷水灭火系统的设计流量应满足最远端5个喷头的出水量，单个喷头的出水量不应小于76L/min；水平风管内喷头的距离不得大于 6.1m，垂直风管内喷头的间距不应大于 3.7m；设有喷头的风管设置的喷头应便于定期维护检修。对于可燃、易燃、有毒的工艺排气系统不得设置防火阀等。对于有毒有害物质的排气系统，经废气处理后的污染因子浓度应在 PC-TWA值以下排除或输送有燃烧或爆炸危险物质的排气系统的风管，不应穿过防火墙和防火隔墙。其余酸性、碱性、挥发性有机物和特种废气系统的风管不宜穿越防火墙或防火隔墙，当必须穿越时，排风系统的防火阀设置应遵守下列规定：不应设置熔片式防火网；含有极毒和剧毒物质的排风系统不应设置防火阀，但紧邻建筑构件其中一侧的排风管应采用与建筑构件耐火极限相同的构造进行保护
② 碱性废气系统处理设备宜设置备用，排风机应设置备用。电子工业洁净厂房的碱性废气系统处理设备和排风机应按一级负荷供电，使用一级负荷供电的碱性系统处理设备和排风机风量应大于系统排风量的 50%。
设计排风管路系统时，应避免风管内的挥发性有机物蒸气积聚。设置自动喷淋系统的排风管，应避免喷淋排水回流到工艺设备，风管支撑系统应能承载喷淋时风管系统的重量。挥发性有机物废气排风管的设计不宜选用易出现气体泄漏的管道密封形式或管件。
③挥发性有机物废气处理系统应配置备用风机，且排风机应按一级负荷供电，使用一级负荷供电的风机风量应大于系统排风量的 50%。
VOC 废气处理系统应配置风量或风压低于设定值的报警装置；炉膛超温时高温烟气从炉膛直排烟道的应急排放管；处理系统的监测、日常操作及保养所需的辅助设施及控制系统失效情况下的紧急安全处理措施等安全保护装置内及靠近外门的外墙上设置电气装置。
④事故排风系统风机的供电负荷等级不应低于相关工艺设备的供电负荷等级，并应分别在室设置有事故排风的场所不具备自然进风条件时，应设置补风系统，补风量宜为排风量的 80％，补风机应与事故排风机联锁。
含有剧毒和较毒物质的事故排风系统其排气筒高度不应低于 15m，含有极毒物质的事故排风系统其排气筒高度不应低于 25m。排气筒出口处的有毒有害物质浓度应低于立即危害生命和健康浓度的 50%。需要设置事故通风的场所，宜设置有毒、有害或燃烧爆炸性气体检测及报警装置，报警后联动开启事故通风装置
