洁净厂房排气系统基本要求
发布者：翼展净化工程公司浏览次数：发布时间：2024-02-28
由于电子工业洁净厂房各类工艺排气中的组分十分复杂，有的工序或设备的工艺排气中有害物质的浓度还可能较高，因此在国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472） 中对排风系统设计作了如下规定：
1.排风介质中含有剧毒物质时，其排风机和处理设备应设备用，并应设置应急电源。排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，其排风机应设备用，并应设置应急电源。
2.排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，其风量应按在正常运行和事故情况下，风管内这些物质的浓度不大于爆炸下限的 20%计。
3.排除有爆炸危险的气体和粉尘洁净厂房的排气设施的局部排风系统，应设置消除静电的接地装置。气管路、应保持相对于路由区城一定的负压值，对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排放。
上述规定是依据近年来电子工业洁净厂房工程的设计实践和已经投人运行的相关工程项目的安全可靠运营的经验总结，并且参照了国外相关标准的技术要求。在美国消防协会 (NFPA) 2018年版的 《半导体制造的消防标准》(NFPA 318） 中要求：“排风系统应设有自动应急电源；应急电源工作时，应达到不低于排气系统 50%的容量；使用可燃、易燃气体或化学品的设备，应设有可燃、易燃气体或蒸汽浓度低至爆炸下限 20%以下的排气系统。
据了解，国内已经建成投运或正在建设的微电子生产用洁净厂房内有爆炸危险的可燃、易燃气体或蒸汽和粉尘的排风系统，为确保洁净厂房的安全可靠性、排风系统的排风量均应达到在正常运行或事故情况下，排风管内这些有害物质的浓度不得大于该物质爆炸下限的20%计。为此在排风系统设有吸人房间空气的自动装置，并在排风管内设有气体浓度报警装置，当排风系统中的有害物质派度超过规定值时，在进行报警的同时，自动开启吸人空气降低排风中有害物质的装置，使排风系统总是不会因意外火源引发着火事故洁净室（区）及其上、下技术夹层均具有气密性良好的要求，如果在洁净厂房中含有有毒可燃、 易燃物质的排气系统一旦发生泄漏事故将会带来十分严重的安全隐患，一旦超出规定限值可能使作业人员中毒甚至发生着火事故，所以相关规范中规定含有毒和易燃、易爆等危险物质的排风系统的排风机、处理设备均应设置备用电源、备用风机，以防止排气系统不正常停机事故的发生；并且这类排风系统内应保持相对于风管路由区城一定的负压值，以避免发生泄漏事故。不仅如此，在相关规范中还规定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危险物质的生产工艺设备的‘气体分配箱”、排风管道连接处和相应的洁净室（区）的室内环境设有气体泄漏报警装置，为避免因危险物质的泄漏超过规定限值引发安全事故的发生，并应设置气体报警装置与排风风机的自动连锁控制。
洁净厂房排气 （废气）系统的设计建造安全技术措施主要有如下基本要求。
①排气系统应具有连续不断运行的功能，这是确保洁净厂房安全稳定运行的重要条件之一，也是保持洁净室的洁净度等级和产品生产过程不被玷污的必需的技术措施。如果洁净厂房内某排气系统因安全技术措施出现故障导致其中断运行，将会使该排气系统涉及的洁净室（区）及其范围内生产工艺设备产品生产发生的有害物质散发到相关房间内，其严重后果是不言而喻的。此，“连续运行”是洁净厂房排气系统首要的安全技术措施基本要求。
② 洁净厂房中各类排气应严格遵守 “不准混排”或应按废气种类和不相容原则分类、分系统设置。这里所指的 “不相容”，Cincompatible）是化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况，其释放的能量可能引起危险。在电子工业集成电路、液晶显示器面板等产品生产中，由于其生产过程需用数十种不同物化性质的化学品、特种气体，因此在这类洁净厂房内的排气系统必须十分严格执行“不准混排”“按不相容原则分类、分系统”，以确保洁净厂房的安全稳定运行。例如在 GB 51401 中明确规定：氮氧化物度气、高浓度酸皮气应单独设置皮气系统，外延尾气处理系统应单独设置等
③各类排气系统设计建造和运行应具有可靠的防止泄漏/渗漏的技术措施。签于各类排气系统中排出的介质分别或同时具有易燃易爆、毒性、腐蚀性、氧化性和室息性等，一旦从排风系统泄漏到所涉及的环境，将可能引发火灾、爆炸、中街等危区生命财产的重大灾难性事故，因此防泄漏/渗漏是排气系统安全技术措施的重要基本要求。
④依据排气系统排出废气的有害物质，例如有火灾、爆炸、有毒等危及生命财产安全的物质，在生产工艺设备排出口或在现场排气处理装置(POU） 等排出口，进入排风管道处的有告浓度应有严格限制，以确保排风管道至排人大气的排气间的路由管道、设备区其周围环境的安全。在标淮规范中明确规定的有．烧类尾气处理系统处理后的燃烧爆炸性气体浓度应保持在萁燃烧范圃卞限值的 25%以下，为防止运行过程中排气管道内“超过限值”，通常应设有稀释措施；当采用转轮浓缩处理挥发性有机物废气时，浓缩后的挥发性有机物废气浓度不应大于燃烧范围下限的 50%等
